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首頁(yè)-譜標(biāo)服務(wù)-?氫氣原位質(zhì)量法?在半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域的應(yīng)用

?氫氣原位質(zhì)量法?在半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域的應(yīng)用

發(fā)布時(shí)間:2024-09-14       點(diǎn)擊次數(shù):875

氫氣原位質(zhì)量法?是一種利用化學(xué)反應(yīng)去除特定干擾的分析方法,特別適用于ICP-MS(電感耦合等離子體質(zhì)譜儀)分析中的復(fù)雜樣品。這種方法通過(guò)在反應(yīng)池中引入氫氣(H2)和氧氣(O2)等反應(yīng)氣,使得分析物或干擾物在反應(yīng)池中與反應(yīng)氣發(fā)生反應(yīng),生成一個(gè)新的質(zhì)量數(shù)的產(chǎn)物離子。通過(guò)這種質(zhì)量轉(zhuǎn)移或原位質(zhì)量的方法,可以避開(kāi)原質(zhì)量數(shù)的干擾,從而提高分析的準(zhǔn)確性和靈敏度。例如,在ICP-MS分析中,通過(guò)這種方法可以解決一些分析難題,如去除干擾元素對(duì)目標(biāo)元素的干擾,從而獲得更準(zhǔn)確的元素分析結(jié)果?。

?氫氣原位質(zhì)量法?的應(yīng)用不只限于ICP-MS分析,還在其他領(lǐng)域中發(fā)揮著重要作用。例如,在提高氮化鋁晶體質(zhì)量的方法中,氫氣原位刻蝕技術(shù)被用來(lái)在MOCVD設(shè)備中進(jìn)行高溫原位刻蝕,通過(guò)形成密集的孔洞層并促進(jìn)位錯(cuò)的湮滅,提高外延層的晶體質(zhì)量。這種方法通過(guò)高溫原位刻蝕技術(shù),在第1次高溫外延層和第二次高溫外延層之間形成密集的孔洞層,通過(guò)提升側(cè)向生長(zhǎng)速率使孔洞逐漸合并,降低外延層中的位錯(cuò)密度,從而提高晶體質(zhì)量?。

半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域

半導(dǎo)體行業(yè)中,每個(gè)工藝流程中引入的雜質(zhì)污染,都有可能造成半導(dǎo)體器件缺陷。半導(dǎo)體器件的整個(gè)制造過(guò)程中會(huì)用到多種化學(xué)品,例如過(guò)氧化氫(H2O2)、鹽酸(HCl)、硫酸(H2SO4)等,進(jìn)行清洗和蝕刻。

過(guò)氧化氫 :作為強(qiáng)氧化劑,可用于清洗硅片、去除光刻

硝酸和氫氟酸混合物,混合物用于蝕刻單晶硅和多晶硅硫酸與過(guò)氧化氫的混合物可用于晶圓加工過(guò)程的清洗鹽酸用于去除硅片表面的有機(jī)和金屬殘留等雜質(zhì)

隨著半導(dǎo)體器件性能的持續(xù)提高,對(duì)雜質(zhì)的控制要求也更加嚴(yán)格,所用化學(xué)品中的痕量的雜質(zhì)會(huì)影響最終產(chǎn)品的性能和產(chǎn)量。國(guó)際半導(dǎo)體設(shè)備與材料產(chǎn)業(yè)協(xié)會(huì) (SEMI) 發(fā)布了有關(guān)高純?cè)噭┬阅苤笜?biāo)的標(biāo)準(zhǔn), 規(guī)定絕大多數(shù)雜質(zhì)元素的含量不超過(guò) 10 ppt。

所以,制造半導(dǎo)體器件時(shí),需要對(duì)清洗和蝕刻硅片過(guò)程中使用的化學(xué)品中的痕量污染物進(jìn)行常規(guī)監(jiān)測(cè),必須盡可能地將痕量污染控制在minimum濃度,ICP-MS 就是普遍采用的一種監(jiān)測(cè)工具。

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